装置
ウェハ搬送移載装置
●4″~ 8″ウェハ用移載機
概要
オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。
概要
・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載
特長
・CR内でのウェハの自動移載が可能です。
・2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。
仕様
| 装置サイズ(8″用) | 600mm(W) x 448mm(D) x 828mm(H) |
| 移載時間 | 70～90秒 |
| ユーティリティ | AC100V, 5A |
