ウェハ搬送移載装置

概要

　オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
　2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。

概要

・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載

特長

・CR内でのウェハの自動移載が可能です。
・2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。

仕様