ウェハ搬送移載装置

装置

ウェハ搬送移載装置

●4″~ 8″ウェハ用移載機

概要

 オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。
 2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。

概要

・オープンカセット←→オープンカセット移載
・オープンカセット←→石英(SiC)ボート移載
・2カセット同時移載
・ピッチ変換移載
・Face to Face (Back to Back) 移載
・長尺ボートへの枚葉式移載

特長

・CR内でのウェハの自動移載が可能です。
・2カセット同時やピッチ変換・FtoF等の機能を付加可能です。

仕様
装置サイズ(8″用) 600mm(W) x 448mm(D) x 828mm(H)
移載時間 70~90秒
ユーティリティ AC100V, 5A

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