ガラス状カーボン

部品・材料

ガラス状カーボン

優れた特長の炭素材料

概要

 ガラス状カーボンは炭素材料の一種です。

 一般的な炭素材料の特性である、耐食性、耐熱性、導電性に加え、気体、液体の不透過性、等方性、耐酸性、発塵が無いといった特性を有しています。製造過程において特殊な処理を行うことで高純度化も可能です。

 これらの優れた特長から、主に半導体製造装置に使用される部品として用いられています。

用途・実績例

・プラズマエッチング、CVD装置用部材
・スパッタリングターゲット
・高純度耐薬品性部材
・分析装置用部材
・X線機器用部材

特長

・耐薬品性
・気体・液体の不透過性
・高純度
・無発塵
・高耐熱性
・X線高透過性

一般物性
項目 単位 AC-140 (AC-140S)
かさ密度 Mg/m3 1.55
気孔率 % 0
曲げ強さ MPa 200
曲げ弾性率 GPa 30
固有抵抗 μΩ・m 40
熱膨張係数 106K 2~3.4
熱伝導率(20℃) W/mK 6.2
ショア硬度 HS 130
灰分 ppm <50(<5)
耐薬品性 *室温(R.T)
薬品 耐性
リン酸(98%)/H3PO4
硝酸(61%)/HNO3
硫酸(97%)/H2SO4
塩酸(36%)/HCl
混酸/HNO3+ CH3COOH+HF
水酸化ナトリウム(50%)/NaOH
アンモニア水(28%)/NH4OH
パラトルエンスルホン酸水溶液(50%)
フッ酸(50%)/HF

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