部品・材料
ラッピング・ポリッシュキャリア
・シリコンウエハ研磨用キャリア
概要
シリコンウエハ製造のラッピング、ポリッシング工程でウエハホルダーとして
使用するキャリアを各種金属(SUS、SK)、樹脂で製作可能です。
ワークホルダー内側にキズ防止の為に樹脂インジェクション成型します。
お客様のニーズに合った製品を提案して、より品質の高い製品を提供します。
用途・実績例
・シリコンウエハ研摩用キャリア
特長
・厚み精度の高精度化
・長年の経験に基づいたニーズに合わせた様々な仕様提案
・国内製造の為に高品質で安定したコストで、短納期、少量(試作)対応も可能
仕様
・母体は金属（SUS、SK等）、樹脂製で製作可能
・ワークホルダー内側に樹脂インジェクション成型
