部品・材料
レチクルケース
●SC-6: Nタイプ 5インチレチクル用
●SC-8: Nタイプ 6インチレチクル用
●SC-9: Cタイプ 5インチレチクル用
●SC-10: Cタイプ 6インチレチクル用
概要
●プロジェクション露光装置用レチクル（マスク）ケースです。
用途・実績例
N社製ステッパー/スキャナー
C社製ステッパー/スキャナー
特長
●高帯電防止性能
●低アウトガス・低汚染
仕様
| 材質 | すべて帯電防止ABS |
●SC-6: Nタイプ 5インチレチクル用
●SC-8: Nタイプ 6インチレチクル用
●SC-9: Cタイプ 5インチレチクル用
●SC-10: Cタイプ 6インチレチクル用
●プロジェクション露光装置用レチクル（マスク）ケースです。
N社製ステッパー/スキャナー
C社製ステッパー/スキャナー
●高帯電防止性能
●低アウトガス・低汚染
| 材質 | すべて帯電防止ABS |
