レチクルケース

部品・材料

レチクルケース

●SC-6: Nタイプ 5インチレチクル用

●SC-8: Nタイプ 6インチレチクル用

●SC-9: Cタイプ 5インチレチクル用

●SC-10: Cタイプ 6インチレチクル用

概要

●プロジェクション露光装置用レチクル(マスク)ケースです。

用途・実績例

N社製ステッパー/スキャナー
C社製ステッパー/スキャナー

特長

●高帯電防止性能
●低アウトガス・低汚染

仕様
材質 すべて帯電防止ABS

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