半導体製造装置向け高温炉用熱電対

部品・材料

半導体製造装置向け高温炉用熱電対

  • ウェハセンサ(測温ウェハ)

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に最適!

概要

 酸化炉、拡散炉、LPCVD炉、アニール炉、RTP、エピタキシャル炉などの熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。
 新品の作製はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
 装置内汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作致します。
 また、高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、
専用の梱包箱にて出荷致します。
 ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、
トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行致します。

用途・実績例

・熱処理工程の温度制御・測定センサ

特長

・高温炉内温度を正確に測定
・高純度材料を使用
・最先端装置に搭載
・専用のクリーンルームにて生産
・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能

仕様

・プロファイルタイプ、フレキシブルタイプ、ウェーハセンサタイプ等、ラインアップ。

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