真空バルブ

部品・材料

真空バルブ

真空バルブは、チャンバー間の仕切り
(大気-真空・真空-真空)や
チャンバーと排気ポンプの間の仕切りとして
使用されるとして使用される製品です。

概要

半導体、液晶、太陽電池、等の業界でご使用頂いております。
スリットバルブやペンドロールバルブをご用意しております。

用途・実績例

・真空蒸着、エッチング、アッチング、PVD、CVD、スパッタリング等

特長

・受注生産により求められるスペックに柔軟に対応
・約15,000台の製造実績(2016年度)

仕様

・スリットバルブ(ゲートバルブ):小型、中型、大型をご用意
開口幅→小型(399mm以下)、中型(400~999mm)、大型(1,000mm~3,000mm以上)
・ペンドロールバルブ:IPV、3PV、APCをご用意
口径→IPV(160A~550A)、3PV(160A~550A)、APC(160A~350A)

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