装置
石英管洗浄装置「HTC / VTCシリーズ」
石英管縦型洗浄方式・薬液削減・純水削減
実績多数・信頼性が高い
石英保管庫・台車
国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ実績多数
縦型洗浄装置は「薬液削減・純水削減」に貢献致します。
概要
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。
6”・８”・１２”の石英管に対応しており、石英管洗浄の用途・形状に合わせ、横型式と縦型式の装置ラインナップを揃えております。
国内外400台以上の世界トップクラスの納入実績があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせて頂きます。
また、石英ボート洗浄装置・石英パーツ洗浄装置・石英保管庫・石英搬送台車等の関連装置の取扱いも多数ございます。
特長
・世界トップクラスの納入実績より、確立した装置の提供
・横型式と縦型式の選択により、御客様のニーズにあった最適な洗浄方法の提案
・関連装置のラインナップを多数揃えており、様々なご要望に対応可能
仕様
| 項目 | 【縦型石英管洗浄装置 VTCシリーズ】 | 【横型石英管洗浄装置 HTCシリーズ】 |
| 外装材質 | PVC or FM PVC | |
| 電源 | AC100～120V 15A | |
| 操作盤 | 液晶タッチパネル | |
| 制御方式 | PLC制御 | |
| 装置構成 | 石英管チャンバー 1～2式（選択） | 薬液槽 1～2式（選択） |
| 石英パーツ槽 1式 | 水洗槽 1式 | |
| 薬液調合タンク 1～2式（選択） | — | |
| 洗浄方式 | シャワーノズル循環フｨルタリング方式 | 浸漬循環フィルタリング方式 |
| 薬液使用量 | 非常に少ない | 多い（処理槽容量に依存） |
| 洗浄時間 | 横型に比べ若干遅い（石英管） | 早い |
| 洗浄均一性 | ターンテーブ回転機構付き | ローラー回転機構付き |
| 洗浄対象物 | 石英管/石英ボート/石英パーツ (同時洗浄可能) |
石英管/石英ボート/石英パーツ (同時洗浄不可) |
| 異形石英管 | 洗浄可能 | 洗浄可能（但し回転は不可） |
| 枝管付石英管 | ガス導入管3本迄洗浄可能 | 洗浄可能（但し回転は不可） |
| 石英パーツ | パーツ洗浄槽 | 専用バスケット |
| 安全性 | インターロック付2重扉 | インターロック付中間シャッター |
詳細
・国内外、半導体デバイスメーカー・シリコンウエハメーカーへの実績多数
・Inner / Outerチューブ、枝管付きチューブ対応
・仕様変更実績も豊富に御座います。
・詳しくはお問合せください。
