石英管洗浄装置「HTC / VTCシリーズ」

石英管縦型洗浄方式・薬液削減・純水削減
実績多数・信頼性が高い
石英保管庫・台車

国内外　半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ実績多数
縦型洗浄装置は「薬液削減・純水削減」に貢献致します。

　「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。

　6”・８”・１２”の石英管に対応しており、石英管洗浄の用途・形状に合わせ、横型式と縦型式の装置ラインナップを揃えております。

　国内外400台以上の世界トップクラスの納入実績があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせて頂きます。

　また、石英ボート洗浄装置・石英パーツ洗浄装置・石英保管庫・石英搬送台車等の関連装置の取扱いも多数ございます。

・世界トップクラスの納入実績より、確立した装置の提供
・横型式と縦型式の選択により、御客様のニーズにあった最適な洗浄方法の提案
・関連装置のラインナップを多数揃えており、様々なご要望に対応可能

・国内外、半導体デバイスメーカー・シリコンウエハメーカーへの実績多数
・Inner / Outerチューブ、枝管付きチューブ対応
・仕様変更実績も豊富に御座います。
・詳しくはお問合せください。