石英管洗浄装置「HTC / VTCシリーズ」

装置

石英管洗浄装置「HTC / VTCシリーズ」

石英管縦型洗浄方式・薬液削減・純水削減
実績多数・信頼性が高い
石英保管庫・台車

国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ実績多数
縦型洗浄装置は「薬液削減・純水削減」に貢献致します。

概要

 「HTC/VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。

 6”・8”・12”の石英管に対応しており、石英管洗浄の用途・形状に合わせ、横型式と縦型式の装置ラインナップを揃えております。

 国内外400台以上の世界トップクラスの納入実績があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせて頂きます。

 また、石英ボート洗浄装置・石英パーツ洗浄装置・石英保管庫・石英搬送台車等の関連装置の取扱いも多数ございます。

特長

・世界トップクラスの納入実績より、確立した装置の提供
・横型式と縦型式の選択により、御客様のニーズにあった最適な洗浄方法の提案
・関連装置のラインナップを多数揃えており、様々なご要望に対応可能

仕様
項目 【縦型石英管洗浄装置 VTCシリーズ】 【横型石英管洗浄装置 HTCシリーズ】
外装材質 PVC or FM PVC
電源 AC100~120V 15A
操作盤 液晶タッチパネル
制御方式 PLC制御
装置構成 石英管チャンバー 1~2式(選択) 薬液槽 1~2式(選択)
石英パーツ槽 1式 水洗槽 1式
薬液調合タンク 1~2式(選択)
洗浄方式 シャワーノズル循環フィルタリング方式 浸漬循環フィルタリング方式
薬液使用量 非常に少ない 多い(処理槽容量に依存)
洗浄時間 横型に比べ若干遅い(石英管) 早い
洗浄均一性 ターンテーブ回転機構付き ローラー回転機構付き
洗浄対象物 石英管/石英ボート/石英パーツ
(同時洗浄可能)
石英管/石英ボート/石英パーツ
(同時洗浄不可)
異形石英管 洗浄可能 洗浄可能(但し回転は不可)
枝管付石英管 ガス導入管3本迄洗浄可能 洗浄可能(但し回転は不可)
石英パーツ パーツ洗浄槽 専用バスケット
安全性 インターロック付2重扉 インターロック付中間シャッター
詳細

・国内外、半導体デバイスメーカー・シリコンウエハメーカーへの実績多数
・Inner / Outerチューブ、枝管付きチューブ対応
・仕様変更実績も豊富に御座います。
・詳しくはお問合せください。

関連記事