石英ガラス加工品

概要

　石英ガラス加工品は、半導体をはじめ、ＬＥＤ・ソーラーなどの高純度と高耐熱が必要とされる製造プロセスの用途として使用されています。

用途・実例

・エピタキシャル製品
・ASM Epsilon石英製品
・その他エピタキシャル用石英製品

・CVD、酸化、拡散工程関連製品
・石英プロセスチューブ
・石英インナーチューブ
・石英ボート
・その他、各種石英製品

・洗浄関連製品
・石英洗浄槽
・石英キャリア、石英ガイド

・ヒーター製品
・石英カーボンファイバーヒーター