表面改質処理加工・治具洗浄〈トムコ治具洗浄部〉

概要

　トムコの自社工場では、エッチングやブラスト処理、溶射、クリーンルームでの精密洗浄、検査など、治具・部品の洗浄・再生工程に不可欠なすべての設備を導入。

　PVD装置、CVD装置、エッチング装置等で使用された治具・部品に付着したデポ膜を剥離し、表面処理・精密洗浄・乾燥・検査までを一貫してサポートし、お客様製造ラインの歩留まり向上とランニングコストの削減に貢献します。

用途・実績例

・PVD装置治具・部品
・CVD装置治具・部品
・エッチング装置治具・部品　等

特長

表面改質処理加工の特長
・保護膜などの表面処理を施すことで、母材に最適な表面改質が可能です。
・表面改質処理により、薄膜製造装置内部品のパーティクル低減を実現します。
治具洗浄の特長
・母材へのダメージを最小化する化学洗浄、物理洗浄に加え、クリーンルーム内での
超純水洗浄、真空パックにも対応します。
・視認できない汚れや残留物を除去する精密洗浄により、精密機械分野などお客様の
生産性の向上をサポートします。
・常に評価品と同等の製品を納品する再現性の高い技術力を提供します。

詳細

精密治具･部品の加工から表面加工、洗浄までのワンストップサービスで、
お客様設備の品質向上、コスト削減、部品の短納期化を実現します。