部品・材料
高温炉用カンタルヒーター
半導体熱処理や工業用熱処理まで、
各種形状、発熱体に対応。
概要
管状炉はチューブ炉とも呼ばれ、その名の通り管（筒）状の電気炉で工業炉の中でも一角を担う存在です。炉内が筒状なので温度精度に優れ、均一加熱に適した電気炉でゾーン制御を行うことにより、精密な温度制御や温度勾配が可能な電気炉となります。小型精密管状炉に使用している小口径から半導体製造装置（拡散炉）や工業用に使用される大口径のものまで様々な管状炉を製作しています。
※ゾーン制御 炉内において部分的に温度を制御する事で温度精度を向上させる技術
用途・実例
・半導体製造装置から工業・生産ライン・研究開発・温度校正（熱電対校正炉）にて使用
特長
・精密な温度制御や温度勾配が可能
・御要望の電気炉を一台から製作可能
仕様
・発熱体 カンタル AF / A-1 / APM
・最高温度 発熱体 約1400℃（炉内最高 約1300℃）
