高生産性連続式常圧CVD装置 AMAX800V

装置

高生産性連続式常圧CVD装置 AMAX800V

●8インチ 毎時100枚の高スループット
●SiCトレー採用による重金属汚染対策と
 長期安定プロセス
●メンテナンス性の向上

特長

 搬送機構の改良により高スループットを実現しました。

 低温常圧下での熱化学反応がより効果的に生じるように最適化されたAMAX型ディスパージョン
 ヘッドからSiH4, PH3, B2H6とO2が分散後に混合し、表面反応させるポストミックス方式により、
 優れた膜厚均一性と不純物濃度均一性が得られます。

 SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく
 安定したプロセス性能が得られます。

 トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。
 またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うこと
 ができます。

性能
膜厚均一性 ≦±3.0%
対応ウェハサイズ 8インチ
ガス種 SiH4, O2, PH3, B2H6, N2
成膜温度 350℃~450℃
生産性 100枚/時
主な仕様
装置サイズ 1460mm(W) x 3830mm(D) x 2250mm(H)
加熱機構 抵抗加熱
ロード・アンロード ロボットCtoC搬送
ディスパージョンヘッド (ガスノズル) AMAXヘッド (標準2ヘッド、3ヘッド化可能)

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