高純度黒鉛製品

部品・材料

高純度黒鉛製品

・半導体をはじめ様々な産業で活躍
・高密度/高純度な特殊炭素材料
・SiC膜を被覆したClear Carbon

概要

 金属材料や他のセラミックス材料に見られない特性を活かしたクアーズテック株式会社の各種炭素・黒鉛製品は、半導体をはじめ様々な産業で利用されています。特に高純度黒鉛材料は、特殊な処理により灰分を3ppm以下に抑えており、シリコン単結晶引き上げ用ヒーター・ルツボ、液相エピタキシャル用ボートなど、半導体製造工程で幅広く使用されています。さらに、厳選された黒鉛基材の表面にSiCコーティングを施したクリアーカーボンはエピタキシャル用サセプターや各種治具で使用されており、その優れた特性は国内外で高く評価されています。

用途・実績例

・クリアーカーボン(SiCコートグラファイト)サセプター、各種治具:Epi用
・シリコン単結晶引き上げ用ヒーター/カーボンルツボ/輻射シールド
・液相エピタキシャル用ボート
・化合物半導体溶融用ルツボ

特長

・特殊炭素材料 : 高密度/高均熱特性/高耐酸化性
・SiCコートグラファイト : 高純度/優れた高温耐久性/高均熱特性

仕様


詳細

・特殊炭素材料は、さらなる耐酸化消耗性を備え、半導体用途に適した高純度グレードも取り揃えております。
・枚葉サセプター用には、結晶の緻密なFine Grain コーティングもございます。

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