装置
12インチ対応連続式常圧CVD装置 AMAX1200
●12インチ ～56枚/時のスループット
●SiCトレー採用による重金属汚染対策
特長
伝統あるAMAXシリーズの最大径12インチウェハ処理装置です。
低温常圧下での熱化学反応がより効果的に生じるように最適化されたA63型ディスパージョンヘッド
からSiH4, PH3, B2H6とO2が分散後に混合し、表面反応させるポストミックス方式により、
優れた膜厚均一性と不純物濃度均一性が得られます。
SiCトレーの採用により重金属汚染は発生しにくくなりました。また熱による経年変化が少なく
安定したプロセス性能が得られます。
トレー自動交換機能を標準で装備し、作業者の安全性とメンテナンス時間の短縮を実現しました。
またヘッドベースを自動的に上昇させる機構を採用したことにより、容易にクリーニングを行うこと
ができます。
性能
| 膜厚均一性 | ≦±3.0% | |||||||||||||||||
| 対応ウェハサイズ | 12インチ | |||||||||||||||||
| ガス種 | SiH4, O2, PH3, B2H6, N2 | |||||||||||||||||
| 成膜温度 | 350～430℃ | |||||||||||||||||
| 生産性 | ～56枚/時 | |||||||||||||||||
主な仕様
| 装置サイズ | 2165mm(W) x 4788mm(D) x 2250mm(H) | |||||||||||||||||
| 加熱機構 | 抵抗加熱 | |||||||||||||||||
| ロード・アンロード | ロボットCtoC搬送 | |||||||||||||||||
| ディスパージョンヘッド (ガスノズル) |
A63ヘッド (標準3ヘッド) | |||||||||||||||||
