ADS高純度アルミナセラミックス

部品・材料

ADS高純度アルミナセラミックス

数多くの優れた特性−高強度、耐摩耗性、化学的安定性などで応えます!

概要

 吸収率が0.01%以下と非常に緻密な焼結体で極めて高い強度と優れた耐摩耗性をもっており、また優れた電気絶縁性、高い熱伝導率、さらに酸・アルカリなどに対し安定性が高いなどの特性から、半導体装置用部材としての用途が拡がっています。

用途・実績例

・エッチング、アッシング装置用部品
・CVD装置用部品
・ウェーハ研磨用ラッププレート/搬送用アーム
(各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。)

特長

・高純度
・高強度
・高耐食性

仕様

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