部品・材料
ASM Epsilon 石英製品
ASM Epsilon 石英製品
ASM Epsilon石英ガラス製品の販売及び、石英チャンバーの修理品を提供
概要
弊社関連会社のWACOM QUARTZ CORPORATION及び株式会社ワコム製作所で製造しているASM Epsilonに使用される石英チャンバーをはじめ、スパイダー・シャフトなどの純正石英製品を販売しています。
また、石英チャンバーは、定期的なメンテナンスを行うことにより、安定した品質の状態で使用されています。
ASM Epsilon石英製品例
・16-333451E01 QuartZ Chamber 200mm Square ATM OP3
・16-332178E01 Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-332178E01 Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-331698C01 Quartz susceptor support, Bernoulli
・16-329899D01 Support-Ring/Susceptor Square #2A 200mm
・16-336164D01 Support-Getter Square Chamber 200mm
・02-323584D01 ASSY-QTZ-CENTER TC-RP-DIFFUSE
・02-323653D01 ASSY-QTZ REAR TC 200MM
・02-323654D01 ASSY-QTZ SIDE TC RP 200MM
・02-327875D01 ASSY-QTZ FRONT SIDE TC 200MM BIJCT
・その他、ASM Epsilon石英製品
石英チャンバー修理例
修理前 | ||
失透、キズ 有 | 拡大写真 | 歪 有 |
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修理後 | ||
失透、キズ 無 | 拡大写真 | 歪 無 |
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