ASM Epsilon 石英製品

部品・材料

ASM Epsilon 石英製品

ASM Epsilon 石英製品

ASM Epsilon石英ガラス製品の販売及び、石英チャンバーの修理品を提供

概要

 弊社関連会社のWACOM QUARTZ CORPORATION及び株式会社ワコム製作所で製造しているASM Epsilonに使用される石英チャンバーをはじめ、スパイダー・シャフトなどの純正石英製品を販売しています。

 また、石英チャンバーは、定期的なメンテナンスを行うことにより、安定した品質の状態で使用されています。

ASM Epsilon石英製品例

・16-333451E01 QuartZ Chamber 200mm Square ATM OP3
・16-332178E01 Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-332178E01 Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-331698C01 Quartz susceptor support, Bernoulli
・16-329899D01 Support-Ring/Susceptor Square #2A 200mm
・16-336164D01 Support-Getter Square Chamber 200mm
・02-323584D01 ASSY-QTZ-CENTER TC-RP-DIFFUSE
・02-323653D01 ASSY-QTZ REAR TC 200MM
・02-323654D01 ASSY-QTZ SIDE TC RP 200MM
・02-327875D01 ASSY-QTZ FRONT SIDE TC 200MM BIJCT
・その他、ASM Epsilon石英製品

石英チャンバー修理例
修理前
失透、キズ 有 拡大写真 歪 有
修理後
失透、キズ 無 拡大写真 歪 無

関連記事