ASM Epsilon 石英製品

概要

　弊社関連会社のWACOM QUARTZ CORPORATION及び株式会社ワコム製作所で製造しているASM Epsilonに使用される石英チャンバーをはじめ、スパイダー・シャフトなどの純正石英製品を販売しています。

　また、石英チャンバーは、定期的なメンテナンスを行うことにより、安定した品質の状態で使用されています。

ASM Epsilon石英製品例

・16-333451E01　QuartZ Chamber 200mm Square ATM OP3
・16-332178E01　Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-332178E01　Quartz Chamber 200mm Square RP OP3
・16-331698C01　Quartz susceptor support, Bernoulli
・16-329899D01　Support-Ring/Susceptor Square #2A 200mm
・16-336164D01　Support-Getter Square Chamber 200mm
・02-323584D01　ASSY-QTZ-CENTER TC-RP-DIFFUSE
・02-323653D01　ASSY-QTZ REAR TC 200MM
・02-323654D01　ASSY-QTZ SIDE TC RP 200MM
・02-327875D01　ASSY-QTZ FRONT SIDE TC 200MM BIJCT
・その他、ASM Epsilon石英製品

石英チャンバー修理例

修理前
失透、キズ　有	拡大写真	歪　有

修理後
失透、キズ　無	拡大写真	歪　無