CEPURE®インライン・ガスフィルター

部品・材料

CEPURE®インライン・ガスフィルター

半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に。

概要

 クアーズテック株式会社は、1988年CEPURE®インライン・ガスフィルターの販売開始以来、一貫して半導体製造装置用ガスラインの高純度化、高清浄化に取り組んできました。

  第一世代としては六角マルチチャンネルタイプのエレメントを採用した「Mシリーズ」を、そして1992年には第二世代として除粒子性能を維持しつつ、ガス置換特性を向上させた「TMシリーズ」を市場に送りだしました。

 現在、CEPURE®シリーズは、より高いガス置換特性を追及し、かつ一段とコンパクト化を図った第三世代の「STMシリーズ」に進化しており、ユーザーの皆様から高い評価を得ています。

  また、近年、半導体製造装置業界で主流となりつつある集積型ガスパネルに対応すると同時に、多様化するユーザーニーズに対応すべく、各種フィルター応用製品の開発を進めています。

用途・実績例

・各種半導体プロセス用インラインガスフィルター

特長

・優れたガス置換特性
・高耐食性

仕様

・材料 アルミナ多孔体(エレメント部)/SUS/ニッケル/PTFE

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