CERASIC®常圧焼結SiCセラミックス

部品・材料

CERASIC®常圧焼結SiCセラミックス

優れた耐食性と物理特性が
ラインの信頼性を築きます!

概要

 CERASIC® 常圧焼結SiCセラミックスは高温強度を必要とする場合はもちろん、耐摩耗・耐食性を要求される機械部品に最適な材料です。

 また、半導体及びFPD製造用部材としても様々な用途開発が進められています。高純度品としてCVD被膜を施した製品の供給も可能です。

用途・実績例

・シリコンウェーハ用部材
(フォーク、ラッププレート、ステージ部材、サセプター、チャック、ミラー)
・FPD製造用部材
(大型チャック、スライダー)

特長

・高強度
・高耐摩耗性
・高耐食性

仕様

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