DLCコーティング

部品・材料

DLCコーティング

潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成
・低温成膜できるので樹脂、アルミなどにもDLC成膜が可能
・摺動部品のライフ向上
・剥がれにくい

概要

・プラズマイオン注入成膜装置を使用し低摩擦なDLC膜を成膜します。
・ワーク自体をプラズマの生成源とすることで形状に沿ってプラズマが形成され、
複雑な形状や内部にもガスが回り込み成膜が可能です。
・イオン注入を行うことで成膜イオンがワーク表面に入り込み、成膜された膜と高密着性を
得ることができます。

用途・実績例

・半導体製造部品…耐摩耗性向上、金属コンタミ防止等
・各種パッキン…摺動性、耐久性、耐薬品性の向上
・金型、装置部品、治具など幅広い分野で実績

特長

・低摩擦係数膜の形成により潤滑性に優れる
・複雑形状のワークにも対応可能
・金属、アルミ以外に樹脂やゴムにも低温での成膜が可能
・母材に追従する柔軟性を持たす成膜が可能で、樹脂でも膜剥がれしにくい

詳細

部品の摩擦によるライフ低減にお困りであればご相談ください。
技術説明および試作にも対応いたします。
DLC成膜装置の販売も行っておりますのでご相談ください。

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