装置
IPA蒸気乾燥装置
●4″~ 8″ウェハ用IPA蒸気乾燥装置
●ウォーターマークフリー
●各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
概要
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。
スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
用途・実績例
・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥
特長
・微細パターンへ対応可能
・ウォーターマークフリー
・高スループット対応
・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
仕様
| 装置本体サイズ（スタンドアローン型） | 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H) |
| ユーティリティ | 三相AC200V, 単相AC100V 有機排気 クリーンドライエアー, N2 冷却水 |
| 主要安全設備 | CO2消火装置 ＩＰＡガス濃度計 |
