IPA蒸気乾燥装置

装置

IPA蒸気乾燥装置

●4″~8″ ウェハ用IPA蒸気乾燥装置
●ウォーターマークフリー
●各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

概要

 IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。

用途・実績例

・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥

特長

・微細パターンへ対応可能
・ウォーターマークフリー
・高スループット対応
・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能

仕様
装置本体サイズ(スタンドアローン型) 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H)
ユーティリティ 三相AC200V, 単相AC100V
有機排気
クリーンドライエアー, N2
冷却水
主要安全設備 CO2消火装置
IPAガス濃度計

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