SAPPHAL®高純度アルミナセラミックス

部品・材料

SAPPHAL®高純度アルミナセラミックス

F系プラズマ雰囲気下、
過酷な条件に耐える強者!

概要

 サファイアに近い特性を持った多結晶アルミナです。高純度であると同時に気孔がほとんど無い緻密な焼結体です。

 また、結晶粒径の揃った均一な組織構造を持つため、プラズマ雰囲気の過酷な環境に耐える事が出来ます。

用途・実績例

・プラズマエッチングプロセス用部材
(シャワープレート、サセプター、インシュレーター、ノズル、ベルジャー、ドーム等)

特長

・高純度(Al2O3 ; 99.97%)
・ハロゲンプラズマへの高耐食性
・アルミナの理論密度(3.99g/cm3)
・デポ膜が剥がれにくい

仕様

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