SiCダミーウェハ

部品・材料

SiCダミーウェハ

超高純度・高耐熱性・高耐摩耗性を実現した独自のCVD法製作による炭化ケイ素製品

概要

 超高純度で耐食性及び耐熱性に優れているSiCダミーウェハは、長期のリサイクル使用が可能で、LP-CVD、高温拡散、CMP工程にてご使用頂けます。
 SiCダミーウェハを長期使用頂く事で、シリコンウェハの節約、ダミーウェハの交換や洗浄等管理工数削減により、コストダウンに寄与致します。

用途・実績例

・LP-CVD工程用ダミーウェハ
・高温拡散工程用ダミーウェハ
・CMP工程用ダミーウェハ(シーズニング用途)

特長

・高純度(純度はppmレベル)
・高耐酸化性(長期間酸化雰囲気で使用可能)
・高耐食性(Wet洗浄のみで堆積膜や表面汚染を除去可能)
・低拡散係数(表面汚染のSiC内部拡散は困難)
・デポ膜がはがれにくく、パーティクルの低減に寄与致します。

仕様

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