TPSS 炭化けい素セラミックス

概要

　高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。

　TPSS製品は高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性を持ち、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。

　また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。

　特に、精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300㎜ウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献しています。

用途・実例

・半導体製造プロセス関連製品（炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等）
【納入実績】
・国内　半導体デバイスメーカー
・国内　半導体製造装置メーカー
・国内　シリコンウェーハメーカー

特長

・高純度、高強度、高耐食性
・高温での使用が可能（～1350℃）
・パーティクル発生を抑制

仕様

・材料　高純度反応焼結炭化ケイ素　TPSS