TPSS 炭化けい素セラミックス

部品・材料

TPSS 炭化けい素セラミックス

  • 横型マザーボート、カセットボート

高純度、高強度、高耐食性を兼ね備えた
半導体製造プロセスに欠かせない製品!

概要

 高純度炭化けい素を主成分とするTPSSは、クアーズテック社独自の技術により開発された半導体関連材料です。

 TPSS製品は高純度、高強度、高耐食性など数多くの特性を持ち、半導体熱処理炉用炉芯管をはじめ均熱管、ボート、フォークなどに応用されています。

 また、製品の表面にCVD法により超高純度で緻密な炭化けい素膜をコーティングしたグレードも提供しており、幅広いユーザーニーズに対応しています。

 特に、精密加工技術を取り入れたウェーハボートには定評があり、300㎜ウェーハプロセスの品質、歩留向上にも貢献しています。

用途・実例

・半導体製造プロセス関連製品(炉芯管、均熱管、ボート、細管、断熱板、部品等)
【納入実績】
・国内 半導体デバイスメーカー
・国内 半導体製造装置メーカー
・国内 シリコンウェーハメーカー

特長

・高純度、高強度、高耐食性
・高温での使用が可能(~1350℃)
・パーティクル発生を抑制

仕様

・材料 高純度反応焼結炭化ケイ素 TPSS

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