マクロ欠陥検査装置 “Z-nano ED”

2020.3.21

従来は目視確認できなかったnano欠陥を可視化する検査装置

装置内で光を反射させ、4mの光路長を作り、光が垂直に戻らない箇所を影絵として捕らえ、欠陥を検出します。AFMやSEM・SPM・レーザー干渉計などの超狭視野＆高倍率な低速高性能機器で欠陥検出するのではなく、当製品により高速全面可視化しそれら機器と併用することで時短＆効率化を実現します。

・販売実績：ウェーハメーカー、半導体デバイスメーカー、ハードディスクメーカー等。
・累計400台以上

・ナノオーダー欠陥を早く、簡単に、広い範囲で可視化
・目視検査、目視検査支援光源や光学顕微鏡では発見できなかった微細欠陥の検出が可能
・従来は欠陥として捉えていなかった超微細レベルのキズ、表面粗れなどを新たに欠陥として扱いが必要になった場合の高精度検出が可能

・視野範囲：34x28mm ~ 136x115mm
・分解能（Z)：5nm~
・検査時間：リアルタイム

その他詳細につきましては、お問い合わせください。