露光機関連部材
半導体製造前工程のリソグラフィー(露光)工程で使用されるステッパー、スキャナー用光学系/照明系パーツ、レチクルケース、SMIF POD(マルチ／シングルタイプ)を取り扱っております。
レチクルケース1
レチクルケース(フォトマスクケース)「クリーンな環境での使用可」
- 半導体・工業用部材
- 露光機関連部材
露光装置及び、周辺装置用のレチクルケース。主要露光装置メーカーの露光装置にて多数採用済み。クリーンな環境での使用可能！
レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。
【特徴】
■高帯電防止性能
高帯電防止性能により、静電気等も安心
■低アウトガス・低汚染
クリーンな環境にて使用可能
※主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり
※詳しくはお問い合わせください。
【特徴】
■高帯電防止性能
高帯電防止性能により、静電気等も安心
■低アウトガス・低汚染
クリーンな環境にて使用可能
※主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり
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基本情報
レチクルケース(フォトマスクケース)は、半導体の製造工程で使用されるレチクルを保管するケース。主要露光装置メーカーでの露光装置に使用可能。高帯電防止性能に優れているので、使用する際は静電気の発生を防ぎます。低アウトガス・低汚染により、クリーンな環境化で使用可能です。またレチクルとの接触部を最小にすることで、パーティクルの発生が抑制されます。
※詳しくはお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】・露光機の使用に必須なレチクルの保管
・主要露光装置メーカーの露光装置用として、デバイスメーカーでの実績多数あり
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レチクルカセット
SMIF POD（マルチ／シングルタイプ）「SEMI規格準拠」
- 半導体・工業用部材
- 露光機関連部材
徹底した静電対策によるレチクル保護と、独自機構によりレチクルの磨耗と取り扱い中の機械的衝撃による損傷のリスクを最小限に抑えます
SMIF ポッド(SMIF POD) (マルチ／シングルタイプ)は半導体前工程のリソグラフィー工程でレチクルを保護するために使用されます。
【特徴】
■剛性、耐久性が強化
・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。
■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計
・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し）
■大手露光装置メーカーにより認可済
■超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合
■温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合
■乾燥時の最高温度: 60℃（均一） 使用時温度：18℃～30℃
※国内外デバイスメーカにて採用実績あり
※詳しくはお問い合わせください。
【特徴】
■剛性、耐久性が強化
・金属製の為、従来の樹脂製に比べて、剛性、耐久性が強化されています。
■低発塵、洗浄しやすいライナーレス設計
・365nm, 248nm, 及び193nmのレチクル使用可能（プラスティックにリン酸添加物の含有無し）
■大手露光装置メーカーにより認可済
■超音波洗浄及び純水洗浄装置に適合
■温風ノズル、放射式真空乾燥オーブンに適合
■乾燥時の最高温度: 60℃（均一） 使用時温度：18℃～30℃
※国内外デバイスメーカにて採用実績あり
※詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
基本構成部品は金属となっており、樹脂製SMIF PODと比べ非常に高い耐久性を有します。金属製マルチレチクルカセットは、徹底した静電対策と併せて、レチクルを強固に保護することに配慮して設計されています。
事前調整されたハンドリングシステムでレチクルを安全に取り扱うためにはその剛性と耐久性は必要不可欠です。
クロム磨耗とレチクルの粉砕を最小限にとどめるためにレチクルとの接触部はすべてプラスチックを使用しています。
高度に研磨された黒色仕上げはブライトライト検査システムでの粒子検出に効果を発揮します。
※詳しくはお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】・国内外デバイスメーカにて採用されています。
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光学系パーツ1
光学系、照明系パーツ「主要露光装置メーカー対応」
- 半導体・工業用部材
- 露光機関連部材
弊社独自の入手ルートにより、主要露光装置メーカー対応の商品を豊富に取り揃えております！既存の光学系パーツを再生することも可能！
弊社取り扱いの光学系/照明系パーツはステッパーやスキャナー用の製品です。
露光装置は非常に精密な装置ですので、装置に使用されている光学系パーツ（レンズ・フィルター）などは定期的にメンテナンスをする必要があります。
弊社取り扱い製品を既存設備との置き換えはもちろん、既存の光学系パーツを再生することも可能です。
【特徴】
■主要露光装置メーカー対応
■豊富なラインナップ
・主要露光装置メーカー対応の商品を豊富に取り揃えております
■豊富な実績
・各種デバイスメーカーへ多数の実績があります
※各種光学系/照明系パーツ、対応機種については、お問い合わせください。
※詳しくはお問い合わせください。
露光装置は非常に精密な装置ですので、装置に使用されている光学系パーツ（レンズ・フィルター）などは定期的にメンテナンスをする必要があります。
弊社取り扱い製品を既存設備との置き換えはもちろん、既存の光学系パーツを再生することも可能です。
【特徴】
■主要露光装置メーカー対応
■豊富なラインナップ
・主要露光装置メーカー対応の商品を豊富に取り揃えております
■豊富な実績
・各種デバイスメーカーへ多数の実績があります
※各種光学系/照明系パーツ、対応機種については、お問い合わせください。
※詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
弊社取り扱いの光学系/照明系パーツはステッパーやスキャナー用の製品です。露光装置は非常に精密な装置ですので、装置に使用されている光学系パーツ（レンズ・フィルター）などは定期的にメンテナンスをする必要があります。
弊社取り扱い製品を既存設備との置き換えはもちろん、既存の光学系パーツを再生することも可能です。
※詳しくはお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】・主要露光装置用光学系/照明系パーツ
・デバイスメーカーで多数の実績があります
【分野】
半導体、研究開発
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