IPA蒸気乾燥装置
弊社グループ会社で製作されるウェハ乾燥装置は、IPA蒸気を使用した4～8インチ対応の装置です。 スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
IPA蒸気乾燥装置 / IPA Vapor Drying System
IPA蒸気乾燥装置
- 半導体製造装置
- IPA蒸気乾燥装置
- 天谷製作所
IPAの蒸気によって水分を置換し被対象物を乾燥、4～8インチウェハ用、各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
【特徴】
・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置
・ウォーターマークフリー
・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
・微細パターンへ対応可能
・高スループット対応
※詳しくはお問い合わせください。
【特徴】
・4インチ～8インチウェハ用IPA蒸気乾燥装置
・ウォーターマークフリー
・各種洗浄機に組み込み・ドッキング可能
・微細パターンへ対応可能
・高スループット対応
※詳しくはお問い合わせください。
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基本情報
IPA蒸気を使用したウェハ乾燥装置です。スタンドアローン型・洗浄機組込型をラインナップしています。
●装置サイズ(スタンドアローン型)(mm): 800mm(W) x 900mm(D) x 950mm(H)
●ユーティリティ: 三相AC200V、単相AC100V1、有機排気、クリーンドライエアー,N2、冷却水
●主要安全設備: CO2消火装置、IPAガス濃度計
※詳しくはお問い合わせください。
用途／実績例
【用途】・シリコンウェハ/MEMS/ハードディスク乾燥
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