石英管洗浄装置
石英管洗浄装置は、半導体製造工程の拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。
石英管洗浄装置 / Quartz Tube Cleaning System
石英管洗浄装置(HTC/VTCシリーズ)「薬液、純水削減に貢献」
- 半導体製造装置
- 石英管洗浄装置
縦型洗浄装置(VTCシリーズ)は省スペースで「薬液・純水削減」に貢献。世界トップクラスの納入実績(400台以上)
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした石英管洗浄装置です。
【特徴】
■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ
・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致
・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能
■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
■カスタマイズ対応可能
■世界トップクラスの納入実績(400台以上)
・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)あり
■豊富な関連装置の取り扱い経験
・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の取扱いも多数あり
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
【特徴】
■石英管の形状・洗浄用途に合わせた装置ラインナップ
・6インチ・８インチ・１２インチ プロセス用の石英管に対応致
・石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置を選択可能
■省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
・縦型式(VTCシリーズ)は、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献
■カスタマイズ対応可能
■世界トップクラスの納入実績(400台以上)
・国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)あり
■豊富な関連装置の取り扱い経験
・石英ボート洗浄装置、石英パーツ洗浄装置、石英保管庫、石英搬送台車等の関連装置の取扱いも多数あり
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
もっと詳しく見る
基本情報
「HTC／VTC」シリーズは、拡散工程・CVD工程・アニール工程で使用される石英管の洗浄を目的とした装置です。6, 8, 12インチ プロセス用の石英管に対応しており、石英管の形状・洗浄用途に合わせ、横型式(HTC)と縦型式(VTC)の装置ラインナップを揃えております。
特に縦型式(VTC)についてはターンテーブ回転機構付きシャワーノズル循環フィルタリング方式を採用しており、省スペースで「薬液・純水削減」に貢献します。
国内外 半導体デバイスメーカー/シリコンウエハメーカーへ世界トップクラスの納入実績(400台以上)があり、御客様のニーズにあった最適な提案をさせていただきます。
※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。
用途／実績例
・世界トップクラスの納入実績より、確立した装置の提供・横型式と縦型式の選択により、御客様のニーズにあった最適な洗浄方法の提案
・関連装置のラインナップを多数揃えており、様々なご要望に対応可能
・お客様のご要望に合わせカスタマイズ対応も可能
閉じる
