ロボット修理

基本情報

半導体製造装置で使用されているウェーハ搬送ロボット(FIロボット)のOH修理、コントローラの修理を対応しております。
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査いたします。また、短納期でOH修理対応いたします。
現場(現地)での点検サービスも行っており、ご要望に応じて現場(現地)でのトレーニングも行っております。
修理は、現品入庫後、1次外観状態確認及び基本性能検査を実施いたします。その後、修理費用をお知らせいたします。
ご依頼後に、各部品単位の分解・部品交換後組立（ロボット修理業界最上技術水準で、全ての部品の分解及び組立可能）し、
ロボット機種及び製造メーカー別の主要機能の各種検査を行います。
各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業)
ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。
（ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います）

※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。

用途／実績例

国内外でロボットOH修理の実績として、500台以上の実績がございます。
新品の規格よりも、より厳しい規格でOH修理・検査対応いたします。

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