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センサー・温度制御

本製品は、酸化炉、拡散炉、LPCVD炉、アニール炉、RTP、エピタキシャル炉などの熱処理工程の温度制御・温度測定用センサーとして、新品、及び改鋳にて多数実績がございます。

高温炉用熱電対 / Thermocouple for High-temperature Furnace

  • 高温炉用熱電対 / Thermocouple for High-temperature Furnace

高温炉用熱電対(半導体製造装置向け)「高精度な温度測定機能」

  • 半導体・工業用部材
  • センサー・温度制御

高精度な温度測定機能により、熱処理工程の温度制御に最適!

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。

【特徴】
 ・新品の製作はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
 ・専用のクリーンルームにて生産しています。
 ・高精度を実現します。
  厳選された素線(高純度材料)を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。
 ・高温炉内温度を正確に測定いたします。
 ・最先端装置に搭載されています。
 ・校正証明書、トレーサビリティ証明書の発行も可能です。
  ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。

※詳しくはお問い合わせください。

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基本情報

高温炉での熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとしてご使用頂いております。新品の作製はもちろん、お使いの各種熱電対の改鋳も承っております。
装置内汚染を最小限にする為、厳選した材料を使用しクリーンルーム内で製作いたします。また、高精度実現の為、厳選された素線を用い、全数温度試験を行い、専用の梱包箱にて出荷いたします。ISO管理基準に基づく精度確認の為の温度校正も行っており、トレーサビリティ証明書、校正証明書を発行いたします。

※詳しくはお問い合わせください。

用途/実績例

【用途】
熱処理工程の温度制御・温度測定用センサとして、高温炉用装置で使用されています。

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